第42章 这是另外的价格
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  江城发生的小插曲，也就只有江城那几所中学的领导和家长们在关心。
  此时此刻，在千里之外的魔都。
  华轩科技研发中心。
  一间光学实验室內。
  “成了！我们成了！”
  张默盯著电脑屏幕上跑出来的光学模擬干涉图样，整个人兴奋异常。
  他一把抓起桌上的数据报告，急急忙忙的就往总监林伟的办公室跑去。
  “林总！干涉条纹的对比度达到了我们的预期！”
  他指著报告上数据说道。
  “我们按照李东提出的『双光束雷射干涉无掩模』的简化思路，重新搭建了底层的光路模型。”
  “然后再利用非偏振分光稜镜將一束高相干性深紫外雷射分为两束，最后通过反射镜系统调整入射角θ。”
  “当两束相干光在涂有光刻胶的基底表面重叠时，完美地形成了驻波节点！”
  “而且，我们沿著他的思路往下深挖，发现由於没有了复杂的投影物镜组，最让人头疼的球面像差被彻底消除了！我们只需要引入一个简单的压电陶瓷驱动的反射镜微调机构来微调两束光的光程差，就能实现干涉条纹的精准平移！”
  张默压著內心的狂喜。
  “这不仅把投影物镜带来的几十项固有像差误差源直接归零，还去除了配套的复杂像差实时校正模块，而且在特定周期性微纳结构的曝光上，解析度直接逼近了空气环境下的理论极限λ/2！”